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真空度檢測儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備，以單片計算機(jī)為主控單元，測試過程*實現(xiàn)自動化。該儀器的采樣設(shè)計一改以往采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣，有效地抑制了測試過程中瞬態(tài)電源的干擾，使測試穩(wěn)定可靠。由于采用計算機(jī)為主控單元，該儀器能很方便地扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流。

一、ZKD-2000真空度測量儀技術(shù)參數(shù)

1.真空度測量范圍：    9.999×10-1～1×10-5

2.離子電流測量范圍：    9.999×10-1～1×10-7

3.測  量  誤  差：    ＜5%

4.測 量 分 辨 率：    10-5pa

5.允許環(huán)境溫度：    -20℃～50℃

6.空  氣  濕  度：    ≤80%RH

7.電          源：    AC，220V，50Hz±10%

8.外  型  尺  寸：    420×290×210（mm）

9.高  壓  輸  出：    脈沖≤30kV15kHz

⒑重          量：    8kg

二、ZKD-2000真空度測量儀測試原理

將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當(dāng)測知離子電流后，通過離子電流一真空度曲線，由計算機(jī)自動完成真空度的計算，并顯示真空度值。

三、操作面板示意圖

真空度檢測裝置采用磁控放電法進(jìn)行測量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離，施加電場脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場。這樣，在脈沖強(qiáng)磁場和強(qiáng)電場的作用下，滅弧室中的帶電離子作螺旋運動，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對于不同的真空管型號（管型），由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電流的大小也不相同。通過實驗可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后，就可以通過查詢該管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。

真空度測試儀是電力系統(tǒng)中普遍使用的高壓電器，其核心部件是真空滅弧室，由于滅弧室是以真空條件作為工作基礎(chǔ)的，所以它不象油開關(guān)，SF6開關(guān)那樣容易檢測其質(zhì)量。傳統(tǒng)上，真空斷路器用戶判斷滅弧室真空度的方法是工頻耐壓法，這種方法只能粗略判斷真空度嚴(yán)重化的滅弧室。